MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。全世界有大約650余家單位從事MEMS的研制和生產(chǎn)工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品。

加速度傳感器是一種能夠測量加速度的傳感器。通常由質(zhì)量塊、阻尼器、彈性元件、敏感元件和適調(diào)電路等部分組成。傳感器在加速過程中，通過對質(zhì)量塊所受慣性力的測量，利用牛頓第二定律獲得加速度值。根據(jù)傳感器敏感元件的不同，常見的加速度傳感器包括電容式、電感式、應(yīng)變式、壓阻式、壓電式等。

下面由 ADI 亞太區(qū)微機(jī)電產(chǎn)品市場與應(yīng)用經(jīng)理趙延輝為大家介紹MEMS加速度計(jì)工作原理，在本視頻中，重點(diǎn)介紹了：

• 加速度在生活中的現(xiàn)象，并基于生活中的加速度現(xiàn)象引申到 MEMS加速度計(jì)的工作原理；

• 胡克定律和牛頓第二定律，以及如果結(jié)合這兩個定律來推導(dǎo)出加速度的測量方法；

• 芯片級加速度計(jì)的運(yùn)動示意，以及它的一些設(shè)計(jì)方法，難點(diǎn)和信號鏈；

• ……